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PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所希望的薄膜。集成型PECVD系统PECVD-12IH-500A、1200℃小型PECVD系统PECVD-12IH-4Z/G

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1200℃滑动式单温区竞博job密封法兰采用双环密封技术，有效的提高了炉管两端的气密性。气路具有进出气微量可调功能。

操作便捷性：1、方便的气路快速连接口，简化了流量控制系统与其他设备的链接。2、配置有三种接口（宝塔式接口、双卡套式接口、KF接口），方便组合多种连接方式。

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